河北大学学报(自然科学版) ›› 2014, Vol. 34 ›› Issue (1): 23-27.DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2014.01.005

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碲化铋热电薄膜的电沉积制备与形貌分析

刘磊1,苏杰1,马昊1,张汉2,高玉微1   

  1. 1.河北大学电子信息工程学院,河北保定,071002; 2.中国科学院半导体研究所,北京,100083
  • 出版日期:2014-01-25 发布日期:2014-01-25
  • 基金资助:
    国家自然科学基金资助项目,河北大学自然科学研究计划项目,河北省自然科学基金资助项目

Preparation by electrodeposition and morphology analysis of bismuth telluride thermoelectric films

LIU Lei1,SU Jie1,MA Hao1,ZHANG Han2,GAO Yuwei1   

  • Online:2014-01-25 Published:2014-01-25

摘要: 采用电化学沉积法在不锈钢衬底上制备了碲化铋(Bi2Te3)化合物热电薄膜,并利用XRD(X线衍射分析)、SEM(扫描电镜)和AFM(原子力显微镜)对薄膜进行物相分析和形貌观察.首先通过循环伏安法分别对Bi3+和HTeO2+以及他们共存的HNO3溶液进行了测试,确定了Bi2Te3的电化学生长为互诱导二元共沉积过程.然后在-50 mV电位,20 rmA.cm-2电流密度进行电沉积得到Bi2Te3多晶薄膜,XRD分析显示薄膜沿着(110)晶向存在一定程度的择优取向生长.进一步改变沉积电流密度发现,提高沉积电流密度使薄膜晶粒尺寸变小.

关键词: Bi2Te3薄膜, 电沉积, 热电材料

Key words: Bi2Te3 films, electrodepositon, thermoelectric material

中图分类号: