河北大学学报(自然科学版) ›› 2010, Vol. 30 ›› Issue (4): 361-364,433.DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2010.04.006

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环境气体种类对烧蚀粒子输运动力学的影响

丁学成,杨宝柱,王世俊,傅广生,王英龙   

  1. 河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002
  • 出版日期:2010-07-25 发布日期:2010-07-25
  • 基金资助:
    国家自然科学基金资助项目,河北省自然科学基金资助项目,河北省光电材料重点实验室资助项目,河北大学自然科学基金资助课题

Influence of Ambient-gas Type on Propagation Dynamics of Ablated-particles

DING Xue-cheng,YANG Bao-zhu,WANG Shi-jun,FU Guang-sheng,WANG Ying-long   

  • Online:2010-07-25 Published:2010-07-25

摘要: 为深入理解纳米硅(Si)晶粒的成核机理,实现纳米Si晶粒的均匀可控, 采用蒙特-卡罗(Monte Carlo)模拟方法, 对脉冲激光烧蚀单晶Si靶沉积纳米Si晶薄膜过程中烧蚀粒子在环境气体中的输运动力学过程进行了模拟,并研究了环境气体种类对烧蚀粒子时空分布的影响. 研究结果表明, 当环境气体种类确定时, 随着时间的推移, 烧蚀粒子强度分布的峰值右移;并且在He环境气体中烧蚀粒子的传播距离最大, 在Ar环境气体中烧蚀粒子传播距离最小;随着距靶的距离增加, 烧蚀粒子的强度减小, 在Ne环境气体中传输的烧蚀粒子出现二次强度峰的时间最早, 并且强度峰值最大.

关键词: 蒙特-卡罗模拟, 气体种类, 烧蚀粒子, 时空分布

中图分类号: