河北大学学报(自然科学版) ›› 2006, Vol. 26 ›› Issue (4): 373-376,442.DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2006.04.010

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用于薄膜外延生长的单晶基片RHEED研究

武德起,乔晓东,李锋,闫正,赵庆勋,王英龙,刘保亭   

  1. 河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002
  • 出版日期:2006-07-25 发布日期:2006-07-25
  • 基金资助:
    国家自然科学基金,河北省自然科学基金,河北省科技攻关项目,河北大学校科研和教改项目,人事部留学回国人员科技活动择优基金

RHEED Investigation of Single Crystal Substrate for Epitaxial Film Growth

WU De-qi,QIAO Xiao-dong,LI Feng,YAN Zheng,ZHAO Qing-xun,WANG Ying-long,LIU Bao-ting   

  • Online:2006-07-25 Published:2006-07-25

摘要: 利用反射式高能电子衍射仪(RHEED)对微电子技术常用的Si, SrTiO3单晶基片进行了表面结构分析.研究了硅基片的不同清洗工艺对衍射图样的影响,发现衬底的处理工艺非常重要.借助于反射式高能电子的衍射图样和理论分析,计算出与理论值相近的SrTiO3基片晶格常数.结果表明,高能电子衍射仪可以被用于计算生长在基片上的外延薄膜面内晶格常数.

关键词: RHEED, 衍射图样, 表面结构

中图分类号: