表面光滑的金刚石薄膜的合成

尚勇; 赵庆勋; 董国义; 董丽芳

doi:10.3969/j.issn.1000-1565.2002.03.006

河北大学学报(自然科学版) >

2002 , Vol. 22 >Issue 3: 234 - 236

DOI: https://doi.org/10.3969/j.issn.1000-1565.2002.03.006

表面光滑的金刚石薄膜的合成

尚勇 ,
赵庆勋 ,
董国义 ,
董丽芳

展开

河北大学物理科学与技术学院,河北,保定,071002

网络出版日期: 2002-08-25

基金资助

河北省自然科学基金

收起

Deposition of Glossy Diamond Films

Expand

Online published: 2002-08-25

Fold

摘要

以[CH4+H2]为反应气体,利用EACVD的方法在Si(100)衬底合成了表面光滑的超薄金刚石薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、显微喇曼光谱、X射线衍射等手段对合成的金刚石薄膜的成分与结构进行了分析.实验得到了生长表面光滑、厚度均匀的超薄金刚石薄膜的最佳条件.

关键词： EACVD; 表面光滑; 金刚石薄膜

本文引用格式

尚勇 , 赵庆勋 , 董国义 , 董丽芳 . 表面光滑的金刚石薄膜的合成[J]. 河北大学学报(自然科学版), 2002 , 22(3) : 234 -236 . DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2002.03.006

参考文献

[1] 吕反修. CVD金刚石膜研究近期进展与应用 [J]. 1995.
[2] 顾长志, 金曾孙. 金刚石薄膜的性质、应用及国内外研究现状 [J]. 功能材料 1997, 28(03).
[3] NishitaniGamo M, Ando T, Yamamoto K, Watanabe K, Dennig PA, Sato Y, Sekita M. A nondiamond phase at the interface between oriented diamond and Si(100) observed by confocal Raman spectroscopy [J]. Applied physics letters 1997, 12(12).
[4] 顾长志, 金曾孙, 王玉光. 激光修饰金刚石膜的表面抛光技术 [J]. 科学通报 1997, 42(06).

Options

文章导航

模态框（Modal）标题

摘要

本文引用格式

参考文献