高介电栅介质ZrO2薄膜的物理电学性能
武德起,姚金城,赵红生,常爱民,李锋,周阳
Physical and Electrical Properties of ZrO2 Gate Dielectrics Film
WU De-qi,YAO Jin-cheng,ZHAO Hong-sheng,CHANG Ai-min,LI Feng,ZHOU Yang
河北大学学报(自然科学版)
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2009, (5): 484
-488,554
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DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2009.05.010
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