碳化硅薄膜的光学特性研究

碳化硅薄膜的光学特性研究

于威,吕雪芹,宋维才,路万兵,傅广生

Optical Properties of Silicon Carbide Film

YU Wei,L(U) Xue-qin,SONG Wei-cai,LU Wan-bing,FU Guang-sheng

河北大学学报(自然科学版) . 2007, (1): 24 -27 . DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2007.01.009