氢化非晶氮化硅薄膜的光学特性研究
于威,侯海虹,王保柱,刘丽辉,傅广生
Optical Properties of Hydrogenated Amorphous Silicon Nitride Films
河北大学学报(自然科学版) . 2003, (3): 253 -256 .  DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2003.03.007