河北大学学报(自然科学版) ›› 2005, Vol. 25 ›› Issue (2): 225-230.DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2005.02.025

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铁电薄膜及铁电存储器研究

武德起,刘保亭,闫正,闫常瑜,赵庆勋   

  1. 河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002
  • 出版日期:2005-01-25 发布日期:2005-01-25
  • 基金资助:
    河北省自然科学基金,河北省科技攻关项目,河北大学校科研和校改项目,人事部留学回国人员科技活动择优基金

Ferroelectric Films and Ferroelectric Random Access Memory

WU De-qi,LIU Bao-ting,YAN Zheng,YAN Chang-yu,ZHAO Qing-xun   

  • Online:2005-01-25 Published:2005-01-25

摘要: 综述了铁电薄膜以及铁电存储器的发展,讨论了铁电薄膜制备方法、结构和物理性能表征,并结合作者的前期工作,详细讨论了用于铁电薄膜与硅衬底集成的导电阻挡层问题,指出了铁电薄膜研究中需重点解决的一些问题.

关键词: 铁电薄膜, 集成铁电体, 铁电存储器

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