河北大学学报(自然科学版) ›› 2011, Vol. 31 ›› Issue (5): 480-485.DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2011.05.007

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氧气气氛下退火温度对BST薄膜结构及物理性能的影响

娄建忠1,李俊颖2,代鹏超2,孙杰2,刘保亭3   

  1. 1.河北大学电子信息工程学院,河北保定,071002; 2.河北大学电子信息工程学院,河北保定071002;河北大学物理科学与技术学院,河北保定071002; 3.河北大学物理科学与技术学院,河北保定,071002
  • 出版日期:2011-09-25 发布日期:2011-09-25

Influence of Annealing Temperature Under Oxygen Atmosphere on Structure and Physical Properties of the Thin Films for BST

LOU Jian-zhong1,LI Jun-ying2,DAI Peng-chao2,SUN Jie2,LIU Bao-ting3   

  • Online:2011-09-25 Published:2011-09-25

摘要: 利用溶胶凝胶法在Pt/TiO2/SiO2/Si (001)衬底上制备了(~70 nm)的Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST)薄膜,采用磁控溅射法构建了Pt/BST/Pt/TiO2/SiO2/Si (001)电容器,研究了在氧气气氛中不同退火温度对BST薄膜结构及物理性能的影响.结果发现,650℃退火样品具有良好的结晶质量和介电性能.650℃退火样品在电场强度为200 kV/cm时漏电流密度为3.06×10-6 A/cm2.

关键词: BST薄膜, 溶胶凝胶, 常规退火

中图分类号: