河北大学学报(自然科学版) ›› 2012, Vol. 32 ›› Issue (1): 24-27.DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2012.01.006

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不同能量密度对脉冲激光沉积纳米硅晶粒尺寸的影响

邓泽超,罗青山,丁学成,褚立志,王英龙   

  1. 河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,河北保定071002
  • 出版日期:2012-01-25 发布日期:2012-01-25
  • 基金资助:
    河北省自然科学基金,河北省教育厅基金

Influence of different energy densities on size of Si nanocrystal grains prepared by pulsed laser deposition

DENG Ze-chao,LUO Qing-shan,DING Xue-cheng,CHU Li-zhi,WANG Ying-long   

  • Online:2012-01-25 Published:2012-01-25

摘要: 在室温条件下保持Ar环境气体压强不变,采用脉冲激光沉积(PLD)技术,通过改变激光能量密度,在与烧蚀羽辉轴线垂直放置的衬底上沉积了一系列纳米硅晶薄膜,利用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼(Raman)散射光谱对样品进行特性分析.结果表明,在能量密度为2~4 J/cm2时,衬底上沉积的纳米硅晶粒尺寸和面密度基本不变.结合纳米晶粒成核生长动力学,对结果进行了定性解释.

关键词: 脉冲激光沉积, 能量密度, 纳米硅晶粒, 晶粒尺寸

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