河北大学学报(自然科学版) ›› 2001, Vol. 21 ›› Issue (4): 381-384.DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2001.04.010

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非均匀电场中电子在H2/CH4混合气体中运动的数值模拟

辛红丽,韩佳宁,赵庆勋,文钦若   

  1. 河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002
  • 出版日期:2001-10-25 发布日期:2001-10-25
  • 基金资助:
    河北省自然科学基金

Numerical Simulation of Electron Motion in the Mixture of H2/CH4 in a Non-uniform Field

  • Online:2001-10-25 Published:2001-10-25

摘要: 用Monte Carlo数值模拟方法研究了辉光等离子体辅助化学气相沉积法(GPCVD)低温合成金刚石的过程中,电子在H2/CH4混合气体中的运动.本文在数值模拟中,采用非匀强电场,并考虑了电子的雪崩过程,实现了对须跟踪的粒子数不断增长的系统的Monte Carlo模拟,给出了电子的能量分布及角分布.

关键词: Monte Carlo方法, 等离子体, 电子运动

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