多晶硅薄膜制备技术的研究进展

多晶硅薄膜制备技术的研究进展

马蕾,简红彬,康建波,彭英才

Progress on the Fabricated Technique of Poly-Si Films

MA Lei,JIAN Hong-bin,KANG Jian-bo,PENG Ying-cai

河北大学学报(自然科学版) . 2005, (1): 97 -103 . DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2005.01.023