反应气压对氢化非晶氮化硅薄膜的发光特性影响

朱海丰,杨彦斌,路万兵,于威

Influence of Gas Pressure on Luminescent Properties of a - SiNx :H Films

河北大学学报(自然科学版) . 2004, (3): 247 -250 . DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2004.03.007