超薄层SiOxNy栅介质薄膜的制备与研究进展
张弘,范志东,田书凤,彭英才
Progress on the Fabricated Technique of Ultrathin SiOxNy Films
ZHANG Hong,FAN Zhi-dong,TIAN Shu-feng,PENG Ying-cai
河北大学学报(自然科学版) . 2005, (6): 673 -679 .  DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2005.06.024

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