SnO2和TiO2薄膜在钙钛矿材料上的原子层沉积工艺
罗浩,张慧玉,刘红燕,刘海旭,路万兵
Atomic layer deposition process of SnO2 and TiO2 films on perovskite materials
LUO Hao, ZHANG Huiyu, LIU Hongyan, LIU Haixu, LU Wanbing
河北大学学报(自然科学版)
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2022, (4): 370
-375
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DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2022.04.006
