摘要: 为了降低薄膜样品表面对激光的反射率,提高等离子体的辐射强度,改善谱线质量,提出了一种在薄膜表面涂覆碳层的方法,并研究了不同涂层厚度对等离子体谱线强度的影响.实验结果表明,薄膜表面涂覆碳层,可有效减少表面对激光束的反射,提高热耦合效率.当碳涂层厚度15 μm左右时热耦合效率最高,激光等离子体的辐射强度明显增强.
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冯强,张秋琳,邹昊,崔永亮,怀素芳,郭庆林. 碳涂层对硅基薄膜激光微等离子体光谱强度的影响[J]. 河北大学学报(自然科学版), 2009, 29(2): 142-145.
FENG Qiang,ZHANG Qiu-lin,ZOU Hao,CUI Yong-liang,HUAI Su-fang,GUO Qing-lin. Effects of Carbon Coating on the Spectral Intensity of Silicon-based Thin Film Laser Micro-plasma[J]. Journal of Hebei University (Natural Science Edition), 2009, 29(2): 142-145.