激光烧蚀过程中密度交叠区振荡稳定时间与晶粒尺寸均匀性的关系

doi:10.3969/j.issn.1000-1565.2005.05.007

河北大学学报(自然科学版) ›› 2005, Vol. 25 ›› Issue (5): 478-481.DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2005.05.007

激光烧蚀过程中密度交叠区振荡稳定时间与晶粒尺寸均匀性的关系

李艳丽¹,刘景旺²,张荣梅³,王英龙¹

1.河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002； 2.北华航天工业学院,基础部,河北,廊坊,065000； 3.保定师范专科学校,物理系,河北,保定,071000

出版日期:2005-09-25 发布日期:2005-09-25
基金资助:
河北省自然科学基金

Relation Between Size-uniformity of Si Nanoparticles and Oscillating Stabilization Time of the Mixed Region During Laser Ablation

LI Yan-li¹,LIU Jing-wang²,ZHANG Rong-mei³,WANG Ying-long¹

Online:2005-09-25 Published:2005-09-25

摘要/Abstract

摘要： 在不同环境气体中,对脉冲激光烧蚀产生的Si粒子的输运过程进行了Monte Carlo动力学模拟,并实验研究了脉冲激光烧蚀制备纳米Si薄膜的晶粒尺寸分布. 在理论分析和实验研究的基础上,讨论了纳米Si晶粒尺寸分布和烧蚀过程中出现的交叠区振荡稳定时间的对应关系. 结果表明,Si蒸气/环境气体高密度交叠区振荡稳定时间越短,所制备的纳米Si晶粒尺寸分布越均匀.

关键词: 脉冲激光烧蚀, 动力学, 纳米Si晶粒, 尺寸分布

中图分类号:

李艳丽,刘景旺,张荣梅,王英龙. 激光烧蚀过程中密度交叠区振荡稳定时间与晶粒尺寸均匀性的关系[J]. 河北大学学报(自然科学版), 2005, 25(5): 478-481.

LI Yan-li,LIU Jing-wang,ZHANG Rong-mei,WANG Ying-long. Relation Between Size-uniformity of Si Nanoparticles and Oscillating Stabilization Time of the Mixed Region During Laser Ablation[J]. Journal of Hebei University (Natural Science Edition), 2005, 25(5): 478-481.

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激光烧蚀过程中密度交叠区振荡稳定时间与晶粒尺寸均匀性的关系

Relation Between Size-uniformity of Si Nanoparticles and Oscillating Stabilization Time of the Mixed Region During Laser Ablation

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