H2/CH4/H2S/Ar气氛合成n型金刚石薄膜过程中硫分布的数值模拟

doi:10.3969/j.issn.1000-1565.2005.04.008

河北大学学报(自然科学版) ›› 2005, Vol. 25 ›› Issue (4): 369-372,398.DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2005.04.008

H2/CH4/H2S/Ar气氛合成n型金刚石薄膜过程中硫分布的数值模拟

南景宇¹,赵庆勋²,乔晓东²,闫正²,刘保亭²,张靖²

1.河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002;河北北方学院,物理系,河北,张家口,075028； 2.河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002

出版日期:2005-07-25 发布日期:2005-07-25
基金资助:
河北省自然科学基金

Numerical Simulations of Particle Distributions for Sulfur Doped n-type Diamond Thin Film in the Mixture of H2/CH4/H2S/Ar

NAN Jing-yu¹,ZHAO Qing-xun²,QIAO Xiao-dong²,YAN Zheng²,LIU Bao-ting²,ZHANG Jing²

Online:2005-07-25 Published:2005-07-25

摘要/Abstract

摘要： 本工作采用Monte Carlo方法,根据辉光放电理论,对以H2S为掺杂源气体采用EACVD技术合成n型硫掺杂的金刚石薄膜的动力学过程进行了模拟.得出不同气压、偏压情况下n型硫掺杂的金刚石薄膜的动力学过程中掺杂元素S和S+粒子数分布,计算结果对掺杂过程的研究具有参考价值.

关键词: Monte Carlo, 方法, 金刚石薄膜, n型掺杂, EACVD

中图分类号:

南景宇,赵庆勋,乔晓东,闫正,刘保亭,张靖. H2/CH4/H2S/Ar气氛合成n型金刚石薄膜过程中硫分布的数值模拟[J]. 河北大学学报(自然科学版), 2005, 25(4): 369-372,398.

NAN Jing-yu,ZHAO Qing-xun,QIAO Xiao-dong,YAN Zheng,LIU Bao-ting,ZHANG Jing. Numerical Simulations of Particle Distributions for Sulfur Doped n-type Diamond Thin Film in the Mixture of H2/CH4/H2S/Ar[J]. Journal of Hebei University (Natural Science Edition), 2005, 25(4): 369-372,398.

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