河北大学学报(自然科学版) ›› 2014, Vol. 34 ›› Issue (3): 248-252.DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2014.03.006

• • 上一篇    下一篇

脉冲激光沉积纳米Si晶粒气相生长的蒙特卡罗模拟

傅广生,郭瑞强,秦爱丽,丁学成,王英龙   

  1. 河北大学物理科学与技术学院,河北保定,071002
  • 出版日期:2014-05-25 发布日期:2014-05-25
  • 基金资助:
    973计划前期研究专项,河北省自然科学基金资助项目

Monte Carlo simulation of vapor phase growth of nanoparticles by pulsed-laser deposition

FU Guangsheng,GUO Ruiqiang,QIN Aili,DING Xuecheng,WANG Yinglong   

  • Online:2014-05-25 Published:2014-05-25

摘要: 采用蒙特卡罗(Monte Carlo)模拟方法,引入粘连成核模型,模拟了脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒的气相成核与长大过程,并研究了初始烧蚀Si粒子总数对纳米晶粒尺寸和密度分布的影响.研究结果表明:随着初始烧蚀Si粒子总数增大,纳米晶粒数目增多,尺寸分布变宽,Si晶粒尺寸分布近似满足幂函数衰减规律.给出了烧蚀粒子和环境气体密度随时间演化图,所得结论可为进一步研究纳米晶粒生长动力学提供理论依据.

关键词: 粘连成核, 蒙特卡罗模拟, 脉冲激光烧蚀, 尺寸分布

Key words: combinational nucleation model, Monte Carlo simulation, pulsed-laser deposition, size-distribution

中图分类号: