河北大学学报(自然科学版) ›› 2003, Vol. 23 ›› Issue (3): 329-333.DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2003.03.023

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脉冲激光烧蚀沉积纳米Si膜动力学研究现状

张荣梅,王英龙   

  1. 河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002
  • 出版日期:2003-08-25 发布日期:2003-08-25
  • 基金资助:
    河北省自然科学基金

Progress of Dynamic Study for Silicon Nanoparticales Deposited by Pulsed Laser Ablation

  • Online:2003-08-25 Published:2003-08-25

摘要: Si基纳米材料在半导体光电集成领域有着十分诱人的前景,脉冲激光烧蚀技术是目前材料界和分析界最有前景的技术之一.介绍了脉冲激光烧蚀沉积Si基纳米材料的基本原理,从实验和理论方面对其动力学研究现状进行了综述.

关键词: 激光烧蚀, 沉积, 动力学

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